昆山金斗云测控设备有限公司

客服热线:18962649536

技术电话:18014867947

芯片半导体行业涡轮分子泵动平衡校正案例

发布时间:2025-08-27 14:11:22
浏览量:

在芯片半导体生产过程中,真空环境是确保工艺精度和良品率的关键,而涡轮分子泵作为真空系统的核心部件,其运行状态直接关系到设备稳定性。涡轮分子泵转速极高,通常达到数万转甚至更高,一旦出现转子不平衡,将导致设备振动增加、轴承寿命缩短,甚至影响整条生产线的运行。

近期,我司昆山金斗云测控承接了某芯片半导体客户的动平衡校正项目,对其运行转速高达9万转的涡轮分子泵进行现场检测与动平衡修正。


一、客户面临的问题

该客户在日常维护中发现,部分分子泵在高速运行时出现振动偏大情况。虽然设备尚能维持运行,但长此以往势必增加部件磨损,缩短泵的使用寿命,且一旦发生突发停机,将对生产造成巨大影响。

考虑到分子泵转速极高,且设备属于芯片生产核心环节,客户希望在不停产的情况下,完成精准动平衡修正,降低运行风险。



二、我司解决方案

作为瑞典VMI在国内的总代理,我司长期配备了专业的动平衡检测设备和经验丰富的工程师团队。在本次案例中,我们选用了VMI X Balancer+现场动平衡仪

X Balancer+是一款便携式高精度现场动平衡仪,能够在不拆卸设备的前提下进行数据采集和动平衡计算,特别适用于高速旋转设备的现场校正。

整个解决流程如下:

  1. 现场检测
    工程师通过加速度传感器与激光转速计采集分子泵的振动信号与转速数据。通过初步分析,确认存在明显的不平衡分量。

  2. 动平衡计算与修正
    使用X Balancer+对初始数据进行分析,计算出校正所需的质量与角度。工程师根据指示在指定位置添加微量校正块。

  3. 效果验证
    再次启动分子泵并采集数据,振动幅值明显降低,设备运行趋于平稳。最终校正结果表明,振动水平达到了行业允许范围内的理想状态。


三、实施效果

校正完成后,分子泵的整体运行平稳性显著提升,振动值大幅下降。客户反映,设备噪声降低,运行时的安全余量更大。更为重要的是,通过本次动平衡校正,有效延长了分子泵的使用寿命,降低了未来突发故障的风险。


四、案例总结

此次案例体现了以下几点:

  1. 专业设备的必要性
    高速分子泵对动平衡校正精度要求极高,普通手段难以胜任。X Balancer+在现场发挥了重要作用。

  2. 经验积累的重要性
    我司工程师团队拥有二十余年振动分析与动平衡经验,能够在复杂工况下迅速判断并制定合理方案。

  3. 预防性维护的价值
    与其等到设备出现严重故障再维修,不如在早期进行动平衡校正,这种预防性维护方式更能帮助客户降低整体运行成本。



五、昆山金斗云测控的优势

作为瑞典VMI在国内的总代理,我们不仅提供X Balancer+、Viber Balancer、Viber X5等进口高端动平衡与振动分析设备,同时还为制造业、芯片半导体行业、电力、石化等领域提供现场动平衡校正、振动分析诊断等服务。

我们的服务宗旨是:快速响应、精准检测、科学分析、可靠修正。通过仪器与经验结合,帮助客户解决关键设备的振动难题,保障生产稳定运行。


如果您的设备在运行过程中出现振动、噪音或轴承频繁损坏等问题,欢迎联系昆山金斗云测控。我们将凭借专业的仪器和技术,为您提供高效可靠的动平衡解决方案。

在线客服1:
点击这里给我发消息

在线客服2:
点击这里给我发消息

技术咨询:
点击这里给我发消息

服务时间:
8:30-18:00(工作日)